薄膜厚度測(cè)量分為在線測(cè)試與非在線測(cè)試兩種，最早用于薄膜厚度測(cè)量的是非在線測(cè)厚技術(shù)。之后，隨著射線技術(shù)的不斷發(fā)展逐漸研制出與薄膜生產(chǎn)線安裝在一起的在線測(cè)厚設(shè)備。上個(gè)世紀(jì)60年代在線測(cè)厚技術(shù)就已經(jīng)有了廣泛的應(yīng)用，現(xiàn)在更能夠檢測(cè)薄膜某一涂層的厚度。在線測(cè)厚技術(shù)與非在線測(cè)厚技術(shù)在測(cè)試原理上完全不同，在線測(cè)厚技術(shù)一般采用射線技術(shù)等非接觸式測(cè)量法，非在線測(cè)厚技術(shù)一般采用機(jī)械測(cè)量法或者基于電渦流技術(shù)或電磁感應(yīng)原理的測(cè)量法，也有采用光學(xué)測(cè)厚技術(shù)、超聲波測(cè)厚技術(shù)的。

    1.在線測(cè)厚較為常見(jiàn)的在線測(cè)厚技術(shù)有β射線技術(shù)，X射線技術(shù)和近紅外技術(shù)。

    1.1β射線技術(shù)β射線技術(shù)是最先應(yīng)用于在線測(cè)厚技術(shù)上的射線技術(shù)，在上世紀(jì)60年代就已經(jīng)廣泛用于超薄薄膜的在線厚度測(cè)量了。它對(duì)于測(cè)量物沒(méi)有要求，但β傳感器對(duì)溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動(dòng)敏感，設(shè)備對(duì)于輻射保護(hù)裝置要求很高，而且信號(hào)源更換費(fèi)用昂貴，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更換費(fèi)用均在6000美元左右。

    1.2X射線技術(shù)這種技術(shù)極少為薄膜生產(chǎn)線所采用。X光管壽命短，更換費(fèi)用昂貴，一般可用2-3年，更換費(fèi)用在5000美元左右，而且不適用于測(cè)量由多種元素構(gòu)成的聚合物，信號(hào)源放射性強(qiáng)。X射線技術(shù)常用于鋼板等單一元素的測(cè)量。

    1.3近紅外技術(shù)近紅外技術(shù)在在線測(cè)厚領(lǐng)域的應(yīng)用曾受到條紋干涉現(xiàn)象的影響，但現(xiàn)在近紅外技術(shù)已經(jīng)突破了條紋干涉現(xiàn)象對(duì)于超薄薄膜厚度測(cè)量的限制，完全可以進(jìn)行多層薄膜總厚度的測(cè)量，并且由于紅外技術(shù)自身的特點(diǎn)，還可以在測(cè)量復(fù)合薄膜總厚度的同時(shí)給出每一層材料的厚度。近紅外技術(shù)可用于雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜，信號(hào)源無(wú)放射性，設(shè)備維護(hù)難度相對(duì)較低。

    1.4在線測(cè)厚能夠以最快的速度獲取厚度測(cè)試數(shù)據(jù)，通過(guò)數(shù)據(jù)分析，及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)線的參數(shù)，縮短開(kāi)車時(shí)間。但是在線測(cè)厚設(shè)備必須配備與生產(chǎn)線相匹配的掃描架，這在一定程度上限制了在線測(cè)厚設(shè)備的重復(fù)利用。而且由于薄膜生產(chǎn)線往往需要長(zhǎng)期連續(xù)工作，因此相應(yīng)的在線測(cè)厚設(shè)備也就必須長(zhǎng)期工作。在設(shè)備的價(jià)格上，在線測(cè)試設(shè)備一般要比非在線測(cè)試設(shè)備貴很多，而且前者的運(yùn)行費(fèi)用與維護(hù)費(fèi)用也比較高。

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