薄膜厚度測量分為在線測試與非在線測試兩種，最早用于薄膜厚度測量的是非在線測厚技術(shù)。之后，隨著射線技術(shù)的不斷發(fā)展逐漸研制出與薄膜生產(chǎn)線安裝在一起的在線測厚設(shè)備。上個世紀60年代在線測厚技術(shù)就已經(jīng)有了廣泛的應(yīng)用，現(xiàn)在更能夠檢測薄膜某一涂層的厚度。在線測厚技術(shù)與非在線測厚技術(shù)在測試原理上完全不同，在線測厚技術(shù)一般采用射線技術(shù)等非接觸式測量法，非在線測厚技術(shù)一般采用機械測量法或者基于電渦流技術(shù)或電磁感應(yīng)原理的測量法，也有采用光學(xué)測厚技術(shù)、超聲波測厚技術(shù)的。

       1.在線測厚較為常見的在線測厚技術(shù)有β射線技術(shù)，X射線技術(shù)和近紅外技術(shù)。

       1.1β射線技術(shù)β射線技術(shù)是最先應(yīng)用于在線測厚技術(shù)上的射線技術(shù)，在上世紀60年代就已經(jīng)廣泛用于超薄薄膜的在線厚度測量了。它對于測量物沒有要求，但β傳感器對溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動敏感，設(shè)備對于輻射保護裝置要求很高，而且信號源更換費用昂貴，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更換費用均在6000美元左右。

        1.2X射線技術(shù)這種技術(shù)極少為薄膜生產(chǎn)線所采用。X光管壽命短，更換費用昂貴，一般可用2-3年，更換費用在5000美元左右，而且不適用于測量由多種元素構(gòu)成的聚合物，信號源放射性強。X射線技術(shù)常用于鋼板等單一元素的測量。

       1.3近紅外技術(shù)近紅外技術(shù)在在線測厚領(lǐng)域的應(yīng)用曾受到條紋干涉現(xiàn)象的影響，但現(xiàn)在近紅外技術(shù)已經(jīng)突破了條紋干涉現(xiàn)象對于超薄薄膜厚度測量的限制，完全可以進行多層薄膜總厚度的測量，并且由于紅外技術(shù)自身的特點，還可以在測量復(fù)合薄膜總厚度的同時給出每一層材料的厚度。近紅外技術(shù)可用于雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜，信號源無放射性，設(shè)備維護難度相對較低。

       1.4在線測厚能夠以最快的速度獲取厚度測試數(shù)據(jù)，通過數(shù)據(jù)分析，及時調(diào)整生產(chǎn)線的參數(shù)，縮短開車時間。但是在線測厚設(shè)備必須配備與生產(chǎn)線相匹配的掃描架，這在一定程度上限制了在線測厚設(shè)備的重復(fù)利用。而且由于薄膜生產(chǎn)線往往需要長期連續(xù)工作，因此相應(yīng)的在線測厚設(shè)備也就必須長期工作。在設(shè)備的價格上，在線測試設(shè)備一般要比非